[发明专利]表面活性添加剂和包含该表面活性添加剂的光刻胶组合物

摘要

本发明涉及表面活性添加剂和包含该表面活性添加剂的光刻胶组合物。一种聚合物，包含单体聚合的产物，所述单体包括：含有式(Ia)、式(Ib)或式(Ia)和(Ib)组合的含氮单体，和具有式(II)的可酸去保护单体：其中：a是0或1；每个R^a独立的是H、F、C₁-C₁₀烷基或者C₁-C₁₀氟化烷基，L¹是直链或支链C₁-C₂₀亚烷基、或者单环、多环、或者稠合多环C₃-C₂₀亚环烷基，每个R^b独立的是H、C₁-C₁₀烷基、C₃-C₂₀环烷基、C₃-C₂₀杂环烷基、脂肪族C₅-C₂₀氧基羰基或者任选包括杂原子取代基的C₁-C₃₀酰基基团，其中每个R^b是独立的，或者至少一个R^b与相邻的R^b相连；LN是含氮的单环、多环、或者稠合多环C₃-C₂₀亚杂环烷基；X是H、C₁-C₁₀烷基、脂肪族C₅-C₂₀氧基羰基或任选包括杂原子取代基的C₁-C₃₀酰基基团；每个R^c独立的是C₁-C₁₀烷基、C₃-C₂₀环烷基、C₃-C₂₀杂环烷基，其中每个R^c是独立的或者至少一个R^c与相邻的R^c相连。

主权项

1.一种聚合物，包含单体的聚合产物，所述单体包括：含有式(Ia)、式(Ib)或式(Ia)和式(Ib)组合的含氮单体，和具有式(II)的可酸去保护单体：其中：a是0或1；每个R^a独立地是H、F、C₁-C₁₀烷基或者C₁-C₁₀氟化烷基，L¹是直链或支链C₁-C₂₀亚烷基、或者单环、多环、或稠合多环C₃-C₂₀亚环烷基，每个R^b独立地是H、C₁-C₁₀烷基、C₃-C₂₀环烷基、C₃-C₂₀杂环烷基、脂肪族C₅-C₂₀氧基羰基或者任选包括杂原子取代基的C₁-C₃₀酰基基团，其中每个R^b是独立的或者至少一个R^b与相邻的R^b相连；LN是含氮的单环、多环、或者稠合多环C₃-C₂₀亚杂环烷基；X是H、C₁-C₁₀烷基、脂肪族C₅-C₂₀氧基羰基或任选包括杂原子取代基的C₁-C₃₀酰基基团；和每个R^c独立地是C₁-C₁₀烷基、C₃-C₂₀环烷基、或C₃-C₂₀杂环烷基，其中每个R^c是独立的或者至少一个R^c与相邻的R^c相连。