[发明专利]线宽量测装置及其方法有效
| 申请号： | 201210235618.7 | 申请日： | 2012-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN102768017A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 林勇佑;王清平 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 欧阳启明 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种线宽量测装置及其方法。该线宽量测装置包含一平台、一取像装置及一混色光源装置。所述取像装置于平台的量测区撷取一待测图案的影像。所述混色光源装置对应于所述量测区提供照明。所述混色光源装置包括多个单色光源，并根据待测图案与标准图案的匹配率调整各个单色光源的亮度比例以提供适合的混色光作为照明使用。因此，本发明可提供更好的量测环境，进而提升线宽量测精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 线宽量测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种线宽量测装置，其特征在于：所述线宽量测装置包括：一平台，具有一量测区；一取像装置，设于所述平台上方，用于撷取所述量测区一待测图案的图形；及一混色光源装置，设于所述平台上方，包括多个单色光源，并根据待测图案与一标准图案的匹配率调整各个单色光源的亮度比例。
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