[发明专利]对玻璃基板进行烤焙处理的装置及方法有效
| 申请号： | 201210226013.1 | 申请日： | 2012-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN102745889A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 马涛;丁涛;刘明;宋涛;赵国栋;刘一俊 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C03B32/00 | 分类号： | C03B32/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 欧阳启明 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对玻璃基板进行烤焙处理的装置，包括：一烤焙室，用于对所述玻璃基板进行加热；一支撑构件，用于支撑所述玻璃基板；一温度传感装置，用于感测所述玻璃基板的温度；一加热装置，用于对所述支撑构件进行加热；一冷却装置，用于对所述支撑构件进行冷却；一温度控制装置，用于接收所述温度传感装置发送的温度数据，并根据所述的温度数据控制所述加热装置对所述支撑构件进行加热，或者控制所述冷却装置对所述支撑构件进行冷却。本发明还公开了一种对玻璃基板进行烤焙处理的方法。本发明能动态地控制与玻璃基板接触的支撑构件的温度，在整个烤焙过程中使玻璃基板的温度与支撑构件的温度保持一致，有效地防止玻璃基板上出现斑点。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 进行 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种对玻璃基板进行烤焙处理的装置，其特征在于，包括：一烤焙室，用于对所述玻璃基板进行加热；一支撑构件，用于支撑所述玻璃基板；一温度传感装置，用于感测所述玻璃基板的温度；一加热装置，用于对所述支撑构件进行加热；一冷却装置，用于对所述支撑构件进行冷却；一温度控制装置，用于接收所述温度传感装置发送的温度数据，并根据所述的温度数据控制所述加热装置对所述支撑构件进行加热，或者控制所述冷却装置对所述支撑构件进行冷却。
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