[发明专利]自动化料盘移运机台

摘要

一种自动化料盘移运机台，用于搬运承载多个待测晶片的料盘，并以测试装置依序让每一个待测晶片进行测试及分类，该自动化料盘移运机台包含一用以承载具有多个待测晶片的料盘的进料匣、一用以接收自该进料匣所输入的料盘的待测区、一组分料匣、一组次品收料匣及至少一个X-Y-Z三轴向搬移机构，其中该分料匣具有一用以接收承置空载料盘的暂置区及一堆叠区，另外该次品收料匣配置于该分料匣的相对侧，具有一用以接收承置空载料盘的暂置区及一堆叠区。本发明能够于更换料盘的过程中不需暂停作业，节省人力搬运成本，使单位时间得到最大的待测物测试量。

主权项

一种自动化料盘移运机台，用于搬运承载多个待测晶片的料盘，其特征在于，该移运机台包含：一进料匣，用以承载具有多个待测晶片的料盘；一待测区，用以接收自该进料匣所输入的料盘；一组分料匣，具有一暂置区及一堆叠区，该暂置区用以接收承置料盘，该堆叠区用以接收来自该暂置区的料盘并顺序堆叠；一组次品收料匣，配置于该分料匣的相对侧，具有一暂置区及一堆叠区，该暂置区用以接收承置料盘，该堆叠区用以接收来自该暂置区的料盘并顺序堆叠；以及一X‑Y‑Z三轴向搬移机构，移动于该待测区、分料匣及次品收料匣的范围间，该X‑Y‑Z三轴向搬移机构具有一组取放器，用以携行料盘由该待测区搬运至该分料匣的暂置区、该次品收料匣的暂置区。