[发明专利]图像传感器装置及其制造方法

摘要

一种图像传感器装置及其制造方法，该图像传感器装置包括具有前和后相对表面的衬底、形成在前表面处的多个光电探测器、形成在前表面处的电耦合到光电探测器的多个接触焊盘。多个腔体形成在衬底的后表面中使得每个腔体被布置在光电探测器之一的上方。具有不同于衬底的那些的光吸收特性的吸收补偿材料被布置在腔体中。多个滤色器均被布置在光电探测器之一的上方。该多个光电探测器被配置用于响应于通过滤色器的光入射而产生电信号。

主权项

一种图像传感器装置，包括：具有前和后相对表面的衬底；形成在前表面处的多个光电探测器；形成在前表面处的电耦合到光电探测器的多个接触焊盘；均形成在后表面之中和光电探测器之一的上方的多个腔体；布置在腔体中的吸收补偿材料，其中该吸收补偿材料具有不同于衬底的那些的光吸收特性；均布置在光电探测器之一的上方的多个滤色器；其中该多个光电探测器被配置用于响应于通过滤色器的光入射而产生电信号。