[发明专利]一种多晶硅还原炉无效
申请号: | 201210174662.1 | 申请日: | 2012-05-31 |
公开(公告)号: | CN102701210A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 徐予晗 | 申请(专利权)人: | 四川瑞能硅材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 钱成岑;詹永斌 |
地址: | 620041 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种多晶硅还原炉,属于多晶硅生产技术领域。所述多晶硅还原炉的炉盘上,设置有导流隔热罩为进入还原炉的物料提供导流的空间,使物料能够强制上升到炉筒内的顶部。本发明的一种多晶硅还原炉,能够在反应中为多晶硅棒上下部都提供充足的物料进行反应并维持合适的温度,避免产生玉米花状多晶硅和熔断现象,同时还能够达到还原炉的节能降耗目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 还原 | ||
【主权项】:
一种多晶硅还原炉,包括有炉盘(1),炉筒(4),设置于炉盘上的电极对(3)、进气喷嘴(5)和尾气出口(6),其特征在于:所述炉盘(1)的中部,设置有圆筒结构的导流隔热罩Ⅰ(2);所述电极对(3)和进气喷嘴(5)均设置在导流隔热罩Ⅰ(2)外侧的炉盘(1)上;所述尾气出口(6)设置在导流隔热罩Ⅰ(2)内侧的炉盘(1)上。
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