[发明专利]一种大型平面靶材和背板的粘接方法

摘要

本发明涉及一种大型平面靶材和背板的粘接方法。它包括依次进行的粘接前处理，预涂焊料，粘接，粘接后处理几个步骤。预涂焊料过程中，两个相对粘接表面先涂以均匀分布的焊料，然后在任一粘接面上预涂鱼骨形的焊料或放置鱼骨形的焊料预制件。该方法能够在大气及真空环境中实现靶材与背板之间的稳固粘接，使得靶材的组织性能和尺寸不受粘接影响，达到了所得粘接既有较高的结合强度又有高的热传导率和电传导率，且低成本易操作的目的。

主权项

一种大型平面靶材和背板的粘接方法，其特征在于：包括如下依次进行的四个步骤：Ⅰ、粘接前处理：对靶材（3）和背板（1）的表面进行磨加工处理，让表面的粗糙度达到0.32μm至0.8μm；然后在粘接面镀上若干层过渡材料；所述过渡材料是指热膨胀系数介于靶材（3）和背板（1）之间的金属；Ⅱ、预涂焊料：将背板（1）和靶材（3）加热至温度高于焊料的液相线以上10～50℃，然后将焊料涂覆在背板（1）和靶材（3）粘接面的表面形成均匀的焊料薄层；之后，在任一粘接面上再涂覆一层鱼骨形的焊料（4）或者放置一块鱼骨形的焊料预制件（4）；Ⅲ、粘接：将靶材（3）和背板（1）上下放置，两粘接面接触；放置稳妥并定位后，在垂直平板方向施加10～100MPa的压力，然后在常压或者真空炉内加热；所述加热条件为：常压加热时，直接在加热平台上加热至温度高于焊料液相线10～50℃以上；真空炉内加热时，将靶材和背板放进真空炉内，抽真空至10Pa，然后加热至焊料熔化；Ⅳ、粘接后处理：清理靶材和背板的非粘接面并将背板非粘接面磨光，监测靶材粘接率；所述的鱼骨形焊料或者鱼骨形焊料预制件是指：该焊料或焊料预制件具有一条位于中心位置且与靶材（3）或背板（1）的粘接面等长的纵向焊料，纵向焊料的两侧是走向与纵向焊料走向相垂直的若干条横向焊料，相邻横向焊料间具有间隙，且两侧横向焊料的总宽度与靶材（3）或背板（1）粘接面等宽。