[发明专利]一种前烘设备及其排气方法有效
| 申请号： | 201210158972.4 | 申请日： | 2012-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN102707586A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 曹旭东;李性照;尹冬冬;李坤;华新孝;吴利峰;李超;王文须 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 黄灿;姜精斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种前烘设备及其排气方法。本发明通过对前烘设备的结构进行改进，利用填充物对气体进行干燥及过滤，从而可以直接使用外部气体作为排气气源，在前烘工艺中进行排气，因此无需额外的新增热风系统，能够以较低成本改善前烘工艺中的排气效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 及其 排气 方法 | ||
【主权项】：
一种前烘设备，应用于对基板进行烘干，其特征在于，包括：由底板、外围框体和上盖板形成的腔体，所述外围框体的上端设置有排气孔；在所述底板和外围框体之间填充有用于过滤气流中水分与灰尘的填充物；在所述底板上设置有预设高度的内部框体，所述内部框体位于所述腔体内部，且在所述底板上界定出用于放置基板的区域；其中，所述预设高度大于所述基板的厚度，以使得经由所述填充物进入所述腔体的气流在爬升所述预定高度后再从所述基板的上方通过，最终经所述排气孔排出。
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