[发明专利]光学位置测量装置

摘要

本发明涉及一种具有量具和扫描单元的光学位置测量装置。量具包括在测量方向上延伸的增量刻度以及基准位置上的至少一个基准标记。基准标记具有两个相对于基准标记对称轴镜面对称的基准标记分区，它们分别由具有部分可变的刻度周期的、在测量方向上延伸的光栅结构组成。扫描单元包括发散照射的光源、一个或者多个光栅以及基准信号探测器布置。该布置具有至少四个分别具有多个探测器元件的探测器阵列。这样设计并布置这些探测器阵列，即，通过由基准信号探测器布置对基准标记进行扫描得到分别具有反相的信号变化过程的第一对和第二对分基准信号，并且第一对分基准信号沿着测量方向相对于第二对分基准信号偏移一个偏移量。

主权项

一种用于检测两个能彼此相对地在至少一个测量方向（x）上运动的对象的位置的光学位置测量装置，所述光学位置测量装置具有：‑量具（10），所述量具与所述两个对象中的一个对象连接，并且所述量具包括在测量方向（x）上延伸的增量刻度（12）以及在基准位置（XREF）上的至少一个基准标记（11），其中，所述基准标记（11）具有两个相对于基准标记对称轴（RS）镜面对称地布置的基准标记分区（11A，11B），所述基准标记分区分别由具有部分可变的刻度周期的、在测量方向（x）上延伸的光栅结构组成，‑扫描单元（20），所述扫描单元与所述两个对象中的另一个对象连接，并且所述扫描单元包括发散照射的光源（21）、一个或者多个光栅（23）、以及基准信号探测器布置（22；22’；122），其中‑所述基准信号探测器布置（22；22’；122）具有至少四个分别具有多个探测器元件（22a‑22d；22a’‑22d’；122a‑122d）的探测器阵列（22.1‑22.4；22.1’‑22.4’；122.1‑122.4），并且这样设计并布置所述探测器阵列（22.1‑22.4；22.1’‑22.4’；122.1‑122.4），即，‑通过由所述基准信号探测器布置（22；22’；122）对所述基准标记（11）进行扫描得到分别具有反相的信号变化过程的第一对和第二对分基准信号（S1_T，S1_GT，S2_T，S2_GT），并且所述第一对分基准信号（S1_T，S1_GT）沿着测量方向（x）相对于所述第二对分基准信号（S2_T，S2_GT）偏移一个偏移量。