[发明专利]测量热扩散系数的装置以及测量热扩散系数的方法有效
| 申请号： | 201210141734.2 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN103364391A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 施智超;吴金宝;吕明生 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种测量热扩散系数的装置以及测量热扩散系数的方法。该测量热扩散系数的装置，包括：拉曼光谱仪、加热设备以及信号分析单元。拉曼光谱仪用以测量待测薄膜的不同位置的拉曼散射强度。加热设备用以提供待测薄膜可控制的热驱动波。信号分析单元用以分析来自拉曼光谱仪的拉曼散射强度以及热驱动波，而得到待测薄膜的热扩散系数。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 扩散系数 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种测量热扩散系数的装置，其特征在于：所述的测量热扩散系数的装置包括：一拉曼光谱仪，用以测量一待测薄膜的不同位置的拉曼散射强度；一加热设备，用以提供该待测薄膜可控制的一热驱动波；以及一信号分析单元，用以分析来自该拉曼光谱仪的这些拉曼散射强度以及该热驱动波，而得到该待测薄膜的热扩散系数。
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