[发明专利]制备(Ti,Al)BN陶瓷基非晶-纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺无效
| 申请号： | 201210132842.3 | 申请日： | 2012-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN102660732A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 徐江 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/36 | 分类号： | C23C14/36;C23C14/06;C23C14/14;C23C8/36 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李纪昌 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 制备(Ti,Al)BN陶瓷基非晶-纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺，步骤为：首先进行双阴极等离子溅射沉积；然后进行离子氮化；溅射的靶材的种类：以热等静压工艺制备的成分质量配比为Ti:B:Al=6:3:1粉末冶金烧结板；工件材料的种类：钛合金。本发明利用双阴极等离子溅射技术，通过调整靶材的成分和气体之间的比例，实现了原位生成(Ti,Al)BN非晶-纳米晶复合涂层。简化了制备工艺，提高了涂层整体性能。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 ti al bn 陶瓷 基非晶 纳米 耐磨 复合 涂层 工艺 | ||
【主权项】：
制备 (Ti,Al)BN陶瓷基非晶‑纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺，其特征在于步骤为：a. 首先进行双阴极等离子溅射沉积，工艺参数如下：靶材电压500~1000 V，工件电压300~450 V，靶材与工件间距10~30 mm，工作气压20~45Pa，沉积温度450~650℃；b. 然后进行离子氮化，工艺参数如下: 工件电压650~850V，氮化温度450~600℃，工作气压20~45Pa，氮分压0.1‑1 Pa；离子氮化1～2小时； c.溅射的靶材的种类：以热等静压工艺制备的成分质量配比为Ti:B:Al=6:3:1粉末冶金烧结板；d. 工件材料的种类：钛合金。
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