[发明专利]可变偏振照明系统有效
| 申请号： | 201210103992.1 | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN103365104A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 曹昌智 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/09 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种可变偏振照明系统，包括激光光源、偏振片、法拉第旋光装置、匀光模块、掩膜和高数值孔径物镜，通过调整施加到法拉第旋光装置中线圈上的电流强度调整线偏振光的角度，使得线偏振光的偏振角度平行于掩膜上的线条。 | ||
| 搜索关键词： | 可变 偏振 照明 系统 | ||
【主权项】：
1.一种可变偏振照明系统，包括激光光源、偏振片、法拉第旋光装置、匀光模块、掩膜和高数值孔径物镜，其中线偏振光的旋转角度![]()
满足以下公式：![]()
其中![]()
是维尔德常数，![]()
为磁感强度，![]()
为光通过的介质的厚度，n为法拉第旋光装置的线圈匝数，![]()
为真空磁导率，I为电流强度；通过调整施加到所述法拉第旋光装置中线圈上的电流强度调整线偏振光的偏振角度。
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