[发明专利]一种石英晶体振荡器晶片碎裂力分散性测量装置有效

专利信息
申请号: 201210103640.6 申请日: 2012-04-10
公开(公告)号: CN102628768A 公开(公告)日: 2012-08-08
发明(设计)人: 陈颖;康锐 申请(专利权)人: 北京航空航天大学
主分类号: G01N3/00 分类号: G01N3/00;G01L5/00
代理公司: 北京慧泉知识产权代理有限公司 11232 代理人: 王顺荣;唐爱华
地址: 100191*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种石英晶体振荡器晶片碎裂力分散性测量装置,它是由三维组合平移台、晶片支座、数显测力计、测试支架、立体显微镜、计算机和显示器组成;三维组合平移台和晶片支座分别用螺栓和螺母结构固定在测试支架互相垂直的两个支撑平面上,数显测力计固定在三维组合平移台左侧、晶体支座的正下方位置,并通过三维组合平移台的横向位置调整旋钮将数显测力计的测力头从下方正对晶体支座孔的中心;立体显微镜放置在晶体支座孔中心的正上方位置,以便实时记录整个碎裂的过程;计算机、显示器与立体显微镜串口信号线缆连接,并位于该测量装置旁,便于观察和操作。本发明能够记录晶片发生碎裂时的力的大小,并能实时观察碎裂的过程和存储图像。它具有实用价值。
搜索关键词: 一种 石英 晶体振荡器 晶片 碎裂 分散性 测量 装置
【主权项】:
一种石英晶体振荡器晶片碎裂力分散性测量装置,其特征在于:它是由三维组合平移台、晶片支座、数显测力计、测试支架、立体显微镜、计算机和显示器组成;三维组合平移台和晶片支座分别用螺栓和螺母结构固定在测试支架互相垂直的两个支撑平面上,数显测力计固定在三维组合平移台左侧、晶体支座的正下方位置,并通过三维组合平移台的横向位置调整旋钮将数显测力计的测力头从下方正对晶体支座孔的中心;立体显微镜放置在晶体支座孔中心的正上方位置,以便实时记录整个碎裂的过程;计算机、显示器与立体显微镜串口信号线缆连接,并位于该测量装置旁,便于观察和操作;所述三维组合平移台,是由金属制作的三个精密平移台和一个直角固定块组成,实现三个方向的平移;其中三个精密平移台结构相同,由线性滚珠导轨、分厘卡、复位弹簧、台面、底座组成;旋转分厘卡驱动线性滚珠导轨,实现一个方向的平移,采用复位弹簧进行复位,消除轴向间隙,台面和底座分布标准孔距的安装孔,用于与其他的平移台组合或者根据测试要求安装被测物;平移台的行程要求20mm以上,精度0.005mm,台面尺寸大于数显测力计的宽度、负载1kg以上;直角固定块由三个相互垂直的面,利用螺栓固定而成,面上分布标准孔距的安装孔,用于在三个维度上安装三个平移台;所述晶片支座,是由45号钢经机加工制成,呈长方体状;在高度方向上,设置有一条通透凹槽,凹槽的中部设有圆通孔,其通孔外径与晶片直径相同,晶片放置其中,保持整个挤压过程中位置不变;为了对不同晶片直径进行测量,设计了带有不同直径凹槽的晶片支座,根据需要更换使用;所述数显测力计,是由测力杆、操作键盘、液晶显示屏,内部处理电路板、传感器及外壳组成,操作键盘上设置了开始、停止、记录数据等按钮,液晶显示屏用于显示力的量值,外壳背部有螺孔,用于与平移台固定,最大测量力为5N,精度0.001N;所述测试支架,是由一块45号钢板和一块透明树脂板组成的直角结构,钢板水平放置在试验台上,透明树脂板垂直于试验台,两者之间用胶粘接,利用透明树脂板作为纵向支架的原因在于方便的通过透明的树脂板,实时观察数显测力计上液晶显示屏的数字;所述立体显微镜,放大倍数7倍以上,用于观察晶片的状态,并将影像传输到电脑中;所述计算机,与立体显微镜通过串口连接,存储图像;所述显示器,与计算机主机相连,显示立体显微镜的图像,并实时显示测力计上的数据。
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