[发明专利]微机电系统装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201210093117.X | 申请日： | 2012-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN102718179A | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 钱元晧;吴华书;锺士勇;曾立天;叶裕德 | 申请（专利权）人： | 美商明锐光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种微机电系统装置的制造方法将制作可动的微机电系统元件的基板分为两个电性独立的导电区域，使可动的微机电系统元件以及设置于其表面上的电路可分别经由相对应的导电区域与下方的另一基板电性连接，藉此简化导电路径的配置以及制造流程。同时亦揭露一种利用上述方法所制造的微机电系统装置。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统装置，其特征在于，包含：一第一基板，其包含至少一第一电路，设置于所述第一基板的一表面；一第二基板，其具有一第一表面以及一第二表面，所述第二基板包含：一微机电系统元件，其以所述第一表面朝向所述第一基板设置于所述第一基板的所述表面，并与所述第一电路电性连接；一导电部，其与所述微机电系统元件电性独立，并与所述第一电路电性连接；以及一第二电路，其设置于所述微机电系统元件的所述第二表面，并与所述微机电系统元件电性独立，所述第二电路经由所述导电部与所述第一电路电性连接；以及一第三基板，其具有一凹槽区域以及多个托脚结构，所述第三基板设置于所述第二基板上方，并以所述托脚结构与所述第一基板连接，使所述第二基板容置于所述凹槽区域。
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