[发明专利]旋转速率传感器有效
申请号: | 201210088784.9 | 申请日: | 2012-03-29 |
公开(公告)号: | CN102735229B | 公开(公告)日: | 2017-11-17 |
发明(设计)人: | T·奥姆斯;B·库尔曼;R·扎特勒;R·舍本;D·C·迈泽尔 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | G01C19/5656 | 分类号: | G01C19/5656 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 侯鸣慧 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有第一科氏元件和第二科氏元件的旋转速率传感器和用于运行该旋转速率传感器的方法,其中,所述旋转速率传感器具有带有主延伸平面的衬底,所述旋转速率传感器具有用于平行于第二轴驱动所述第一科氏元件的第一驱动元件,所述旋转速率传感器具有用于平行于第二轴驱动所述第二科氏元件的第二驱动元件,所述旋转速率传感器具有用于检测所述第一科氏元件和所述第二科氏元件由于科氏力而平行于第一轴的偏转的检测装置,所述第二轴垂直于所述第一轴设置,所述第一轴和所述第二轴平行于所述主延伸平面设置,并且所述第一驱动元件和所述第二驱动元件通过驱动耦合元件机械地相互耦合。 | ||
搜索关键词: | 旋转 速率 传感器 | ||
【主权项】:
具有第一科氏元件(100)和第二科氏元件(200)的旋转速率传感器(1),其中,所述旋转速率传感器(1)具有带有主延伸平面的衬底,所述旋转速率传感器(1)具有用于平行于第二轴(Y)驱动所述第一科氏元件(100)的第一驱动元件(102),所述旋转速率传感器(1)具有用于平行于第二轴(Y)驱动所述第二科氏元件(200)的第二驱动元件(202),所述旋转速率传感器(1)具有用于检测所述第一科氏元件(100)和所述第二科氏元件(200)由于科氏力而平行于第一轴(X)的偏转的检测装置(140,240),所述第一轴(X)垂直于所述第二轴(Y)设置,所述第一轴(X)和所述第二轴(Y)平行于所述主延伸平面设置,其中,所述第一驱动元件(102)和所述第二驱动元件(202)通过驱动耦合元件(301,302)机械地相互耦合,其中,所述驱动耦合元件(301,302)直接与所述衬底机械地耦合。
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