[发明专利]发光二极管的制备方法有效
申请号: | 201210085255.3 | 申请日: | 2012-03-28 |
公开(公告)号: | CN103367554A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 魏洋;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种发光二极管的制备方法,其包括以下步骤:提供一基底;在所述基底设置碳纳米管层;在基底生长一第一半导体层;去除所述基底及所述碳纳米管层,形成一具有一图案化的表面的第一半导体层;将所述第一半导体层生长一活性层及一第二半导体层;形成一第一电极与第一半导体层电连接,同时形成一第二电极与第二半导体层电连接。 | ||
搜索关键词: | 发光二极管 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种发光二极管的制备方法,其包括以下步骤:步骤a,提供一具有第一外延生长面的用于支持外延层外延生长的基底;步骤b,在所述基底的第一外延生长面设置一包括多个碳纳米管且该多个碳纳米管连接为一体的碳纳米管层;步骤c,在基底的第一外延生长面外延生长一第一半导体层;步骤d,去除所述基底及所述碳纳米管层,形成一具有一图案化的表面的第一半导体层;步骤e,将所述第一半导体层的图案化的表面作为第二外延生长面,依次生长一活性层及一第二半导体层,所述活性层与所述第一半导体层接触的表面与所述第一半导体层具有纳米微结构的表面相啮合;步骤f,形成一第一电极与第一半导体层电连接,同时形成一第二电极与第二半导体层电连接。
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