[发明专利]一种电容耦合等离子反应器及其控制方法在审
| 申请号： | 201210081236.3 | 申请日： | 2012-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN103327723A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 凯文·佩尔斯 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电容耦合等离子反应器，包括位于反应器底部的一个基座，基座内包括一个下电极，与下电极相对位于反应器顶部的一个上电极，一个高频射频电源连接到所述下电极并提供第一高频射频功率；所述高频射频电源连接到上电极并提供第二高频射频功率；一个低频射频电源连接到所述下电极并提供低频射频功率；其特征在于：所述电容耦合等离子反应器还包括一个移相控制器，连接在高频射频电源和所述上电极或下电极之间，使所述第一高频射频功率和第二高频射频功率之间的相位差连续变化，对基片表面等离子分布的搅动，实现等离子浓度更均匀的分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 耦合 等离子 反应器 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种电容耦合等离子反应器，包括位于反应器底部的一个基座，基座内包括一个下电极，与下电极相对位于反应器顶部的一个上电极，一个高频射频电源连接到所述下电极并提供第一高频射频功率；所述高频射频电源连接到上电极并提供第二高频射频功率；一个低频射频电源连接到所述下电极并提供低频射频功率；其特征在于：所述电容耦合等离子反应器还包括一个移相控制器，连接在高频射频电源和所述上电极或下电极之间，使所述第一高频射频功率和第二高频射频功率之间的相位差连续变化。
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