[发明专利]扩散炉有效
| 申请号： | 201210075320.4 | 申请日： | 2012-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN103320868A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 吴学成;方海滨;姚承锡;潘之炜 | 申请（专利权）人： | 无锡华润华晶微电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杜娟娟;王忠忠 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市国*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种扩散炉，其包括炉管、炉门、穿过炉门并延伸到所述炉管内的桨，其中，所述扩散炉还包括设置在所述桨上的固定组件，所述固定组件包括第一固定部、弹性件和第二固定部，所述弹性件的一端固定设置在所述第一固定部而另一端则活动设置于所述炉门中，所述第一固定部固定设置于所述桨，所述第二固定部紧挨所述第一固定部固定设置于所述桨。本发明所述的扩散炉可有效防止炉门滑动。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 | ||
【主权项】：
一种扩散炉，包括炉管、炉门、穿过炉门并延伸到所述炉管内的桨，其特征在于，所述扩散炉还包括设置在所述桨上的固定组件，所述固定组件包括第一固定部、弹性件和第二固定部，所述弹性件的一端固定设置在所述第一固定部而另一端则活动设置于所述炉门中，所述第一固定部固定设置于所述桨，所述第二固定部紧挨所述第一固定部固定设置于所述桨。
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