[发明专利]一种扩散炉炉口回流部件有效
申请号: | 201210073355.4 | 申请日: | 2012-03-19 |
公开(公告)号: | CN102605431A | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 汤叶华;周春兰;王文静;费建明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电工研究所 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人: | 关玲 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种扩散炉炉口回流部件,为多组环岛形回流结构。环岛形回流结构的环形阻流环具有向石英管内突出的凸起。环岛形回流结构的阻流板和环形阻流环相对布置,安装在石英管内。阻流板和环形阻流环同心布置,阻流板和环形阻流环之间留有缝隙,形成环形的气流通道,构成一组环岛形回流结构;多组环岛形回流结构按照每组环岛形回流结构中的环形阻流环的内径和阻流板的外径大小由里至外向石英管管口方向间隔布置,即环形阻流环的内径和与环形阻流环相对布置的阻流板的外径由里至外,即向石英管管口方向依次递增,多组环岛形回流结构如此布置,构成多组环岛形回流结构。 | ||
搜索关键词: | 一种 扩散 炉炉口 回流 部件 | ||
【主权项】:
一种扩散炉炉口回流部件,其特征在于,所述的炉口回流部件为多组环岛形回流结构;所述的环岛形回流结构包括环形阻流环和圆形的阻流板;所述的环形阻流环设置在石英管内靠近管口的管壁上,环形阻流环具有向石英管内突出的凸起,所述的凸起的横截面为方形;所述的阻流板间隔地安装在石英管内,和所述的环形阻流环相对布置,阻流板的数量至少与所述的环形阻流环的数目相等;所述阻流板的外径略小于与其相对的环形阻流环的内径;所述的阻流板和所述的环形阻流环同心布置,阻流板和环形阻流环之间留有缝隙,形成环形的气流通道,构成一组环岛形回流结构;所述的多组环岛形回流结构间隔地设置在石英管内靠近管口的一侧,按照每组环岛形回流结构中的环形阻流环的内径和阻流板的外径大小由里至外向石英管管口方向间隔布置;每组环岛形回流结构中,所述的阻流板与所述的环形阻流环一一对应相对布置,即外径最小的阻流板与内径最小的环形阻流环对应,安装在石英管的最里处;外径稍大的阻流板安装在靠外的位置,与内径稍大的环形阻流环相对布置;直径最大的阻流板安装在最靠近石英管管口处,位于最靠近石英管管口的阻流板可以不设置与其相对的环形阻流环,所述的位于最靠近石英管管口的阻流板和石英管管壁之间的缝隙形成环形的流道截面,从而构成最靠近石英管口的环岛形回流结构;如上所述,环形阻流环的内径和与环形阻流环相对布置的阻流板的外径由里至外,即向石英管管口方向依次递增,多组环岛形回流结构如此布置,构成多组环岛形回流结构。
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