[发明专利]监测溶液加工能力的方法及装置、刻蚀系统无效
| 申请号： | 201210072211.7 | 申请日： | 2012-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN102650588A | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 王灿;郭炜 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种监测溶液加工能力的方法及装置、刻蚀系统，监测溶液加工能力的方法其用于在溶液腐蚀被加工工件的流水生产线中监测所述溶液的加工能力是否满足工艺要求，包括以下步骤：在所述溶液腐蚀所述被加工工件的流水生产线的设定位置上，用光线照射所述被加工工件；获得设定位置处透过所述被加工工件的透射光的强度；根据透过所述被加工工件的透射光的强度评估所述溶液的加工能力是否满足工艺要求。该方法能够直观、准确地反应溶液的加工能力状况，从而可以避免因错误的判断而导致溶液的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 溶液 加工 能力 方法 装置 刻蚀 系统 | ||
【主权项】：
一种监测溶液加工能力的方法，其用于在溶液腐蚀被加工工件的流水生产线中监测所述溶液的加工能力是否满足工艺要求，其特征在于，包括以下步骤：在所述溶液腐蚀所述被加工工件的流水生产线的设定位置上，用光线照射所述被加工工件；获得设定位置处透过所述被加工工件的透射光的强度；根据透过所述被加工工件的透射光的强度评估所述溶液的加工能力是否满足工艺要求。
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