[发明专利]膜厚不均检查装置及方法

摘要

本发明是一种膜厚不均检查装置及方法，可获取明亮度及对比度适合检查的图像，而获得准确检查结果；其特征在于，一面使表面具有皮膜的衬底在一方向上移动，一面检查在衬底的皮膜的膜厚不均，且具备检测皮膜厚度的膜厚检测部，光源部包含在摄像部侧的反射照明部、及隔着衬底而与摄像部对向的透射照明部，摄像部包括调节与衬底的相对角度的摄像部角度调整机构，反射照明部包含调节反射照明部与衬底的相对角度的反射照明角度调整机构，透射照明部包含调节透射照明部与衬底的相对角度的透射照明角度调整机构，且该装置包括控制部，其基于来自膜厚检测部的膜厚信息，控制反射照明角度调整机构及透射照明角度调整机构，调节反射照明及透射照明的光量。

主权项

一种膜厚不均检查装置，其特征在于包括：衬底移动部，保持着表面形成有皮膜的衬底使之移动；光源部，对所述衬底照射光；摄像部，对所述衬底的形成有皮膜的面的至少一部分进行摄像；及检查部，基于由所述摄像部拍摄的图像，检查所述皮膜的厚度不均；且一面使所述衬底在一方向上移动，一面检查形成在所述衬底的皮膜的厚度不均，该膜厚不均检查装置包含：检查条件登记部，对与检查对象品种对应的检查条件进行设定登记；及代表膜厚检测部，检测形成在所述衬底的皮膜的代表膜厚；所述光源部具备：反射照明部，配置在所述摄像部侧，且对所述衬底照射光；及透射照明部，配置在隔着所述衬底而和所述摄像部对向的位置上，且对所述衬底照射光；在所述摄像部中，包含调节所述摄像部和所述衬底的相对角度的摄像角度调整部，在所述反射照明部中，包含调节所述反射照明部和所述衬底的相对角度的反射照明角度调整部，在所述透射照明部中，包含调节所述透射照明部和所述衬底的相对角度的透射照明角度调整部，该膜厚不均检查装置包括控制部，该控制部可基于登记在所述检查条件登记部的检查条件、与来自所述代表膜厚检测部的代表膜厚信息，控制所述摄像部角度调整部、所述反射照明角度调整部、及所述透射照明角度调整部，调节所述反射照明的光量及所述透射照明的光量。