[发明专利]制作ZnO于堆叠太阳能硅薄膜以提高发电效率

摘要

本发明主要目的是制作ZnO于堆叠太阳能硅薄膜以提高发电效率。是把导电玻璃在PECVD制作非晶硅薄膜，随后进行本发明ZnO膜层制作，是利用Sputter将ZnO靶材进行溅镀，把ZnO镀在非晶硅薄膜上，最后放回到PECVD制作微晶硅薄膜及背电极，即完成此制程。本发明ZnO膜层制作在非晶硅与微晶硅薄膜中，制作出具高穿透性、高反射性、低折射率及高表面粗糙的ZnO薄膜，主要是当光从TCO玻璃入射后，先到达非晶硅薄膜，再到ZnO膜层时，光会透过ZnO穿透往微晶硅薄膜进入外，也可在ZnO作折射与反射，让更多的光在非晶硅薄膜吸收，以提高非晶硅薄膜的Jsc，此外当光从背电极作反射时，光也会在微晶硅与ZnO作折射，藉此当试片在经过光衰后，有稳定的效率，且有较低的衰退，以达到高发电效率。

主权项

本发明主要目的是制作ZnO于堆叠太阳能硅薄膜以提高发电效率，其主要是把TCO玻璃先在PECVD腔体内制作非晶硅薄膜，随后则进行本发明ZnO膜层的制作，其是利用Sputter将ZnO靶材进行溅镀，把ZnO镀膜在非晶硅薄膜上，最后再放回到PECVD腔体内制作微晶硅薄膜，以及背电极，即完成此制程。