[发明专利]柔性CIGS薄膜太阳电池窗口层制备工艺无效
| 申请号： | 201210054328.2 | 申请日： | 2012-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN103296128A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 张建柱;孙玉娣;马格林;彭博 | 申请（专利权）人： | 任丘市永基光电太阳能有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 062550 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池窗口层的制备工艺，其特征在于：利用卷对卷的生产工艺，依次在不锈钢为衬底上沉积背电极层/CIGS吸收层/CdS缓冲层/窗口层/减反膜/栅电极。窗口层氧化锌利用磁控溅射的方法制备，分本证氧化锌i-ZnO与掺铝氧化锌ZnO:Al的制备。在同一溅射室，先通过卷对卷工艺进行本证氧化锌i-ZnO的溅射，本证氧化锌i-ZnO的溅射镀膜完成后，进行回卷，实现掺铝氧化锌ZnO:Al的制备。整个窗口层镀膜过程简单可行，制备的膜层质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 cigs 薄膜 太阳电池 窗口 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池窗口层的制备工艺，其特征在于：利用卷对卷的生产工艺，依次在不锈钢为衬底上沉积背电极层/CIGS吸收层/CdS缓冲层/窗口层/减反膜/栅电极。窗口层氧化锌利用磁控溅射的方法制备。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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