[发明专利]柔性CIGS薄膜太阳电池窗口层制备工艺

权利要求书

1.一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池窗口层的制备工艺，其特征在于：利用卷对卷的生产工艺，依次在不锈钢为衬底上沉积背电极层/CIGS吸收层/CdS缓冲层/窗口层/减反膜/栅电极。窗口层氧化锌利用磁控溅射的方法制备。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：铜铟镓硒薄膜太阳电池的柔性特点体现在衬底使用的为25～100μm厚的不锈钢带。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：制备形式采用卷对卷(Roll-To-Roll)的镀膜方式，改绕卷式的工艺是实现大面积薄膜、大批量生产的最佳途径。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：窗口层的制备分本证氧化锌i-ZnO与掺铝氧化锌ZnO:Al的制备。首先在缓冲层上溅射本证氧化锌i-ZnO，然后在本证氧化锌上沉积ZnO:Al。

5.据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：本证氧化锌的制备采用双极性中频溅射电源，掺铝氧化锌的制备采用直流脉冲电源。

6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：本证氧化锌i-ZnO溅射室的真空度为1×10^-4～1×10^-3Pa，掺铝氧化锌ZnO:Al溅射室的真空度为1×10^-4～1×10^-3Pa。

7.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：本证氧化锌i-ZnO的溅射镀膜采用对向靶溅射的方式，这样可最大限度的减小溅射过程中高能粒子对缓冲层的冲击。掺铝氧化锌ZnO:Al的溅射镀膜采用可调式对向靶的镀膜方式，可调靶的角度为0～90°，这样可以减小溅射过程中对本证氧化锌膜的冲击。

8.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：电池卷由精密电机和结构控制匀速运动，实现卷对卷的本证氧化锌i-ZnO的溅射镀膜。完成本证氧化锌i-ZnO的溅射镀膜后，进行回卷溅射，实现掺铝氧化锌ZnO:Al的制备。

9.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于：本证氧化锌i-ZnO镀膜厚度为50～100nm，掺铝氧化锌ZnO:Al镀膜厚度为500～1000nm。