[发明专利]一种用于观察裂纹扩展路径扫描电镜样品的制备工艺

摘要

一种用于观察裂纹扩展路径扫描电镜样品的制备工艺，步骤如下：第一，将切割好的试样放置在盛有清洗剂的烧杯中，启动超声波清洗器清洗，第二，将经超声波清洗后的试样用凉风吹干后，放置在模具中，第三，将低熔点合金适量置入模具中，确保熔化后的熔融液体液面高于试样上表面，第四，将模具、低熔点合金和试样一起置于容器中，第五，对容器抽真空，并将容器置入恒温炉，温度由室温升到目标温度，第六，将容器从恒温炉中取出，自然冷却，然后取出试样，用镶样粉镶样，第七，然后先磨制，后精抛，再采用浸蚀剂浸蚀试样，本发明具有操作方便，效果显著，便于推广的特点。

主权项

一种用于观察裂纹扩展路径扫描电镜样品的制备工艺，其特征在于，包括如下步骤：第一，将切割好的试样放置在盛有清洗剂的烧杯中，清洗剂液面高出试样超过15mm～20 mm，并将烧杯放置在盛有水的超声波清洗器中，然后启动超声波清洗器，清洗时间为5min～10min；第二，将经超声波清洗后的试样用凉风吹干后，放置在模具中，确保试样裂纹断裂表面垂直于模具底面；第三，将低熔点合金适量置入模具中，确保熔化后的熔融液体液面高于试样上表面；第四，将模具、低熔点合金和试样一起置于容器中，容器上预留有抽气口，抽气口带有阀门；第五，对容器抽真空，真空度低于7×10‑2Pa，然后充惰性气体，反复三次，最后保持容器内部真空度低于7×10‑2Pa，将容器置入恒温炉，温度设定为250～300℃，温度由室温升到目标温度，保温时间为3～5min；第六，将容器从恒温炉中取出，自然冷却，然后取出试样，用镶样粉镶样，保证试样裂纹断裂表面垂直于待磨制表面；第七，然后先磨制，后精抛，再采用浸蚀剂浸蚀试样，然后在扫描电镜下即可观察裂纹扩展路径和断裂表面层下的显微结构。