[发明专利]一种光束传输稳定装置有效
| 申请号： | 201210030456.3 | 申请日： | 2012-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN102566318A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 甘大春;王建;林妩媚;张海波;廖志杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 顾炜;许玉明 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光束传输稳定装置，用于将激光器发射光束传输到照明系统，在所述传输光路上放置光束控制模块，光束控制模块包括第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)、第三光束控制单元(43)；在光束控制模块的出射光路上放置分光镜(44)，分光镜(44)将光束分成两束，一束光束进入照明系统(5)，另一束光束进入光束测量模块(45)，光束测量模块(45)与控制器(46)相连，用于向控制器(46)提供测量数据，控制器(46)与光束控制模块的第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)、第三光束控制单元(43)相连，用于向光束控制模块提供控制信号，实现同时对光束位置偏差和指向偏差进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光束 传输 稳定 装置 | ||
【主权项】：
一种光束传输稳定装置，包括光束控制模块和控制器(46)，还包括光束测量模块(45)，其特征在于，所述光束控制模块放置于传输光路上，光束控制模块包括第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)和第三光束控制单元(43)；光束依次通过第一光束控制单元(41)、第二光束控制单元(42)和第三光束控制单元(43)后经分光镜(44)分束，光束经过所述分光镜(44)后被分为第一光束和第二光束，所述的第一光束占据原光束的绝大部分能量，并继续向前传输进入光刻照明系统，所述的第二光束进入光束测量模块(45)，所述的控制器(46)与光束控制模块和光束测量模块(45)相连，用于向光束控制模块提供控制信号。
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