[发明专利]具有集成于芯片上的红外截止干涉滤光片与色彩滤光片的光传感器

摘要

本申请案涉及具有集成于芯片上的IR截止干涉滤光片与色彩滤光片的光传感器。本发明描述用以供应光传感器的技术，所述光传感器包含与经图案化色通滤光片集成在一起的经图案化IR截止干涉滤光片。在一个或一个以上实施方案中，所述光传感器包含具有一表面的衬底。在所述衬底的所述表面上方形成经配置以阻挡红外光的IR截止干涉滤光片。所述光传感器还包含放置于所述IR截止干涉滤光片上面或下面的一个或一个以上色通滤光片。所述色通滤光片经配置以对可见光进行过滤以使有限波长光谱中的光通过而到达所述一个或一个以上光电检测器。在一实施方案中，在所述表面上方形成缓冲层且所述缓冲层经配置以囊封多个色通滤光片以促进所述IR截止干涉滤光片的形成。

主权项

一种光传感器，其包括：衬底，其具有一表面；一个或一个以上光电检测器，其形成于所述衬底中且经配置以检测光并响应于所述光而提供信号；一个或一个以上色通滤光片，其安置于所述表面上方且经配置以对可见光进行过滤以使有限波长光谱中的光通过而到达所述一个或一个以上光电检测器；缓冲层，其安置于所述表面上方使得所述缓冲层至少大致包封所述一个或一个以上色通滤光片；及IR截止干涉滤光片，其安置于所述缓冲层上方且经配置以对红外光进行过滤以至少大致阻挡红外光到达多个光电检测器。