[发明专利]局部阳极氧化控制润滑剂分布的方法

摘要

本发明公开了一种局部阳极氧化控制润滑剂分布的方法，该法基于阳极氧化法，通过表面纳米氧化的制备和润滑剂浸图氧化区域两个步骤，使润滑剂纳米液滴被分散在单晶硅片表面氧化区域，通过控制单晶硅片表面氧化区域的面积、溶液浓度和提拉速度来控制润滑剂纳米液滴的分布大小、分布密度以及液滴高度。应用本发明精确涂覆润滑剂，可使得润滑剂在微纳米光机电系统器件表面分布均匀，而且通过控制可以使得工况恶劣的部件得到更多润滑，从而解决MOEMS/NOEMS和微小空间涂覆润滑领域的难题。

主权项

一种局部阳极氧化控制润滑剂分布的方法，其特征在于包括以下步骤：<1>表面纳米氧化的制备  先将单晶硅片的单晶硅表面浸泡在HF水溶液中进行氢钝化；取出氢钝化的单晶硅片，在去离子水中超声清洗，然后氮气吹干；根据预设的图案编辑计算机脚本，将该计算机脚本导入导电原子力显微镜在线控制软件中，绘制出预设的图案；操作导电原子力显微镜，在控制脉冲电压、脉冲宽度和湿度的条件下，进行氧化加工，加工后的单晶硅片表面纳米织构经过导电原子力显微镜扫描后确认；<2>润滑剂浸图氧化区域  采用提拉法浸入烷基润滑剂的正己烷溶液中，然后缓慢提出，无尘干燥即可。