[发明专利]蒸镀掩膜板无效
| 申请号： | 201210010756.5 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205696A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀掩膜板，其特征在于，至少包括两层结构，各层开口尺寸逐层增大。本发明提供的一种蒸镀掩膜板，其制作方式为电铸的方式，提高了OLED蒸镀用掩模板的位置精度；提高了OLED蒸镀用掩模板开口尺寸的精度；能够任意控制上下开口的角度，以满足蒸镀要求，生产效率高、成本低具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩膜板 | ||
【主权项】：
一种蒸镀掩膜板，其特征在于，至少包括两层结构，各层开口尺寸逐层增大。
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