[发明专利]一种可调深度的印刷模版飞秒激光打孔装置

摘要

一种可调深度的印刷模版飞秒激光打孔装置，由飞秒激光器及沿该飞秒激光器的输出光路上依次布排的第1准直透镜、固定光阑、第2准直透镜、可调光阑、轴棱锥和放有马氏体不锈钢待加工样品的样品台组成。所述固定光阑、第2准直透镜、可调光阑和轴棱锥在传播方向上的光学中心重合，并且样品台的加工区域位于轴棱锥一侧的无衍射区域中。本发明由于采用可调光阑和轴棱锥的组合结构，保证了激光重新聚焦在不锈钢待加工样品并且具有较长焦深，0—250步长的可调孔径光阑可以获得0—250步长可调能量的激光，从而实现在印刷模版上实现不同深度打孔。

主权项

一种深度可调的印刷模版飞秒激光打孔装置，包括飞秒激光器，其特征在于：沿所述飞秒激光器的输出光路上依次设置有第1准直透镜、固定光阑、第2准直透镜、可调光阑、轴棱锥和样品台，所述固定光阑、第2准直透镜、可调光阑和轴棱锥在传播方向上的光学中心重合，所述放置有马氏体不锈钢待加工样品的样品台位于所述轴棱锥一侧的无衍射区域中。