[发明专利]一种可调深度的印刷模版飞秒激光打孔装置

权利要求书

1.一种深度可调的印刷模版飞秒激光打孔装置，包括飞秒激光器，其特征在于：沿所述飞秒激光器的输出光路上依次设置有第1准直透镜、固定光阑、第2准直透镜、可调光阑、轴棱锥和样品台，所述固定光阑、第2准直透镜、可调光阑和轴棱锥在传播方向上的光学中心重合，所述放置有马氏体不锈钢待加工样品的样品台位于所述轴棱锥一侧的无衍射区域中。

2.根据权利要求1所述的深度可调的印刷模版飞秒激光打孔装置，其特征在于：从飞秒激光器发出的飞秒激光通过由第1准直透镜、固定光阑、第2准直透镜组成的准直透镜组得到准直激光，该准直激光经过可调光阑后得到不同功率范围的准直激光。

3.根据权利要求1或2所述的深度可调的印刷模版飞秒激光打孔装置，其特征在于：从准直透镜组得到的准直激光，通过可调光阑后，垂直射入轴棱锥的底面上，产生无衍射光束并重新聚焦在样品台上的待加工样品上。