[发明专利]一种环形介质阻挡放电电离装置无效
| 申请号： | 201210002610.6 | 申请日： | 2012-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN102522310A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 吴庆浩;程平;黄正旭;高伟;董俊国;周振;傅忠 | 申请（专利权）人： | 昆山禾信质谱技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/12 | 分类号： | H01J49/12;H05H1/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电离装置，特别涉及一种环形介质阻挡放电电离装置，包括绝缘介质腔、放电电极、推斥电极、绝缘介质和供电电源，所述绝缘介质腔一端开口，另一端封闭且在靠近封闭端的侧壁上设有气体入口；所述放电电极为一组环形电极，紧密围绕在所述绝缘介质腔中部外围，并用所述绝缘介质包敷；所述推斥电极为圆形金属板，置于所述绝缘介质腔封闭端内部，且位于放电电极上方；所述供电电源为所述放电电极供电。本发明的环形介质阻挡放电电离装置具有放电稳定、无电极污染、耐氧化、功耗低、寿命长、工作气压范围宽等特点，可以广泛应用于质谱电离源、等离子体处理和材料制备等方面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环形 介质 阻挡 放电 电离 装置 | ||
【主权项】：
一种环形介质阻挡放电电离装置，包括绝缘介质腔(1)、放电电极(4)、推斥电极(2)、绝缘介质(6)和供电电源(5)，其特征在于：所述绝缘介质腔(1)一端开口，另一端封闭且在靠近封闭端的侧壁上设有气体入口(3)；所述放电电极(4)为一组环形电极，紧密围绕在所述绝缘介质腔(1)中部外围，并用所述绝缘介质(6)包覆；所述推斥电极(2)为圆形金属板，置于所述绝缘介质腔(1)封闭端内部，且位于所述放电电极(4)上方；所述供电电源(5)为所述放电电极(4)供电。
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