[发明专利]蒸镀装置和回收装置有效
| 申请号： | 201180057574.7 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103237916A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 园田通;川户伸一;井上智;桥本智志 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本，*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 防镀板（3）和挡板（4）的至少一部分由多个小片（3a、3b、4a、4b）连结而成，在各个小片（3a、3b、4a、4b）设置有能够将小片彼此连结和解除连结的连结部。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 回收 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置在蒸镀室中使从设置于所述蒸镀装置的蒸镀材料收纳部放出的蒸镀颗粒蒸镀在基板上，从所述蒸镀材料收纳部向第一方向放出的蒸镀颗粒被蒸镀在所述基板上，向与所述第一方向不同的第二方向放出的蒸镀颗粒被蒸镀在能够从所述蒸镀装置拆卸的第一部件上，所述第一部件的至少一部分由多个小片连结而成，在所述小片的各个中包括能够将所述小片彼此连结和解除连结的连结部。
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