[发明专利]成膜装置

摘要

使用包括有机金属化合物的原料气体形成薄膜的成膜装置具备：内部能够真空排气的处理容器（22）；载置被处理体（W），并且设置有对被处理体（W）进行加热的加热器（34）的载置台（28）；在载置台（28）的上方与载置台（28）相对设置，向着载置台（28）上的被处理体（W）外周端更外侧的区域导入原料气体的气体导入机构（80）；包围载置台（28）的上方的处理空间（S），划分处理空间的内外，并且以其下端部接近载置台（28）的方式设置，在下端部与载置台（28）的周边部之间形成气体出口（92）的内部划分壁（90）；在内部划分壁（90）的下端部，向着载置台（28）的半径方向的内方延伸设置，在与载置台（28）的周边部之间形成与气体出口（92）连通的孔口部（98）的孔口形成部件（96）。

主权项

一种成膜装置，其为使用包括有机金属化合物的原料气体在被处理体的表面形成薄膜的成膜装置，所述成膜装置的特征在于，具备：处理容器，内部收容被处理体，且内部能够真空排气；载置台，收容在所述处理容器内，载置被处理体，并且设置有对被处理体进行加热的加热器；气体导入机构，在所述载置台的上方与所述载置台相对设置，向着所述载置台上的所述被处理体的外周端更外侧的区域导入所述原料气体；内部划分壁，包围所述载置台的上方的处理空间，划分处理空间的内外，并且以其下端部接近所述载置台的方式设置，在所述下端部与所述载置台的周边部之间形成气体出口；和孔口形成部件，在所述内部划分壁的下端部向着所述载置台的半径方向的内方延伸设置，在与所述载置台的周边部之间形成与所述气体出口连通的孔口部。