[实用新型]多晶硅铸锭炉快慢抽气系统

摘要

一种多晶铸锭炉快慢抽气系统，采用两路管道分别控制炉室抽气的速度，多晶铸锭炉快慢抽气系统不仅能够实现对炉室抽真空，而且利用两路抽速的快慢不同，可以在不同的阶段采用不同的管路，快抽能实现对炉腔快速抽气，节省时间，慢抽主要能避免硅料粉尘的抽走，即避免浪费又保护了石墨部件和真空机组，快抽管道口径大，管道上有主路高真空隔离阀，慢抽管道口径小，管道上有过滤器，旁路控制蝶阀和旁路高真空隔离阀，两路管道都接到真空机组上，真空机组主要由机械泵和罗茨泵组成。

主权项

一种多晶硅铸锭炉快慢抽气系统，其特征是：包括快抽管道，慢抽管道，真空机组，主路高真空隔离阀，过滤器，旁路控制蝶阀，旁路高真空隔离阀和炉室，快抽管道一端连接真空机组，然后经由主路高真空隔离阀另一端连接到炉室，慢抽管道一端连接真空机组，然后经由过滤器、旁路控制蝶阀和旁路高真空隔离阀另一端连接到炉室。