[实用新型]一种硅片冲洗机构有效
| 申请号： | 201120348085.4 | 申请日： | 2011-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN202238742U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 吴磊;郭贵东 | 申请（专利权）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片冲洗机构，包括：第一酸冲洗槽、碱冲洗槽、第二酸冲洗槽、第一进水阀、第二进水阀、第三进水阀、第一溢流管、第二溢流管、第三溢流管，第一进水阀独立的向第一酸冲洗槽排进水，第二进水阀独立的向碱冲洗槽排进水，第三进水阀独立的向第二酸冲洗槽排进水；第一溢流管独立的将第一酸冲洗槽内超过第一溢流管高度的水排出第一酸冲洗槽，第二溢流管独立的将碱冲洗槽内超过第二溢流管高度的水排出第二酸冲洗槽，第三溢流管独立的将第二酸冲洗槽内超过第三溢流管高度的水排出第二酸冲洗槽；第一酸冲洗槽、碱冲洗槽、第二酸冲洗槽两两之间互相不连通。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 冲洗 机构 | ||
【主权项】：
一种硅片冲洗机构，其特征在于，包括：第一酸冲洗槽、碱冲洗槽、第二酸冲洗槽、第一进水阀、第二进水阀、第三进水阀、第一溢流管、第二溢流管、第三溢流管，其中，所述第一进水阀独立的向所述第一酸冲洗槽排进水，所述第二进水阀独立的向所述碱冲洗槽排进水，所述第三进水阀独立的向所述第二酸冲洗槽排进水；所述第一溢流管独立的将所述第一酸冲洗槽内超过所述第一溢流管高度的水排出所述第一酸冲洗槽，所述第二溢流管独立的将所述碱冲洗槽内超过所述第二溢流管高度的水排出所述第二酸冲洗槽，所述第三溢流管独立的将所述第二酸冲洗槽内超过所述第三溢流管高度的水排出所述第二酸冲洗槽；所述第一酸冲洗槽、所述碱冲洗槽、所述第二酸冲洗槽两两之间互相不连通。
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