[实用新型]化学气相反应腔内等离子气体管路有效
| 申请号： | 201120284909.6 | 申请日： | 2011-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN202201973U | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 郭锋 | 申请（专利权）人： | 上海曙海太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;C23C16/513 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 雷绍宁 |
| 地址： | 201300 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型一种化学气相反应腔内等离子气体管路，化学气相反应腔内设有两个电极盒，管路连接结构包括主管路和两个分支管路，主管路的一端与所述远程等离子系统的输出口相连，主管路的另一端通过转接口与两个分支管路相连通，一个分支管路的端部与其中一个电极盒相连通，主管路与分支管路间的夹角大小为90°～110°，两个分支管路间的夹角大小为120°～140°。本实用新型化学气相反应腔内等离子气体管路，优化气体管路内的流体流动性，使远程等离子高温效应最小化，增强了管路的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 相反 应腔内 等离子 气体 管路 | ||
【主权项】：
一种化学气相反应腔内等离子气体管路，化学气相反应腔内设有两个电极盒，其特征在于，所述管路连接结构包括主管路(1)和两个分支管路(2)，主管路的一端与所述远程等离子系统输出口(6)相连，主管路的另一端通过转接口(3)与两个分支管路(2)相连通，两个分支管路的端部分别与其中一个电极盒相连通，主管路与分支管路间的夹角(C)大小为90°～110°，两个分支管路间的夹角(A)大小为120°～140°。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
