[实用新型]三氯氢硅合成中氯化氢的加料计量装置有效

专利信息
申请号: 201120252610.2 申请日: 2011-07-18
公开(公告)号: CN202193623U 公开(公告)日: 2012-04-18
发明(设计)人: 吴连杰;徐德懿 申请(专利权)人: 四川瑞能硅材料有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 徐宏;吴彦峰
地址: 620041 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种三氯氢硅合成中氯化氢的加料计量装置,包括被测管路,在被测管路上水平安装有孔板流量计,所述孔板流量计上有法兰,所述法兰焊接在被测管路上,所述孔板流量计的孔板中心线与所述被测管路的管路中心线重合;本实用新型方便测定三氯氢硅合成的氯化氢流量,从而易于掌握氯化氢的加料量,使得三氯氢硅合成系统可以维持稳定生产,从而促进了整个多晶硅的生产,本实用新型安装方便,流量计运行时间长,维修方便。
搜索关键词: 三氯氢硅 合成 氯化氢 加料 计量 装置
【主权项】:
一种三氯氢硅合成中氯化氢的加料计量装置,包括被测管路(4),其特征在于:在被测管路(4)上水平安装有孔板流量计(3)。
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