[实用新型]一种带有内部水冷的直拉单晶炉热屏有效
| 申请号： | 201120229547.0 | 申请日： | 2011-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN202246987U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 苏文佳;左然;李通通 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种带有内部水冷的直拉单晶炉热屏，具体为一种用于半导体单晶生长的、带有内部水冷的直拉炉热屏，涉及半导体材料生长设备技术领域。本实用新型包括外热屏、保温碳毡、内热屏和保温桶上盖，外热屏、保温碳毡、内热屏为三层圆台形同轴结构，从外向内依次为外热屏、保温碳毡、内热屏，还包括冷却水管进口、圆台形螺旋水冷管、冷却水管出口、冷却水流量阀、高压水泵和喷淋冷却塔，圆台形螺旋水冷管包裹在保温碳毡中，圆台形螺旋水冷管与内热屏和外热屏均同轴；冷却水管进口和冷却水管出口从内热屏上沿穿过；冷却水管进口与高压水泵连接，冷却水管出口与喷淋冷却塔连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 内部 水冷 直拉单晶炉热屏 | ||
【主权项】：
一种带有内部水冷的直拉单晶炉热屏，包括外热屏（2）、保温碳毡（3）、内热屏（5）和保温桶上盖（7），所述外热屏（2）、保温碳毡（3）、内热屏（5）为三层圆台形同轴结构，从外向内依次为外热屏（2）、保温碳毡（3）、内热屏（5），其特征在于，还包括冷却水管进口（1）、圆台形螺旋水冷管（4）、冷却水管出口（6）、冷却水流量阀（8）、高压水泵（9）和喷淋冷却塔（10），所述圆台形螺旋水冷管（4）包裹在保温碳毡（3）中，所述圆台形螺旋水冷管（4）与内热屏（5）和外热屏（2）均同轴；所述冷却水管进口（1）和冷却水管出口（6）从内热屏（5）上沿穿过；所述冷却水管进口（1）与高压水泵（9）连接，冷却水管出口（6）与喷淋冷却塔（10）连接。
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