[实用新型]光掩模冲洗的装卡装置

摘要

本实用新型涉及一种光掩模冲洗的装卡装置，开合驱动机构包括沿工作台对角设置的两导轨座、分别安装在两导轨座上的驱动组件及同步组件，驱动组件的气缸和直线导轨安装在导轨座上，安装在气缸上的过渡滑块通过压紧弹簧和测力传感器与托板连接，同步组件的同步带与各导步齿轮啮合，托板与同步带连接；自动翻转机构包括主动和从动翻转组件，主、被动支承座分别安装在托板上，与摆动气缸连接的主动卡爪座通过主动轴套安装在主动支承座上，主动卡爪可拆安装在主动卡爪座上；被动卡爪座通过被动轴套安装在被动支承座上，被动卡爪可拆安装在被动卡爪座上，主动卡爪的中心线与被动卡爪中心线重合。具有结构合理，能使两卡爪同进退，抓取放置可靠的特点。

主权项

一种光掩模冲洗的装卡装置，其特征在于：包括设有孔口的工作台(1)以及安装在工作台(1)上的开合驱动机构和自动翻转机构，所述的开合驱动机构包括沿工作台(1)对角设置的两导轨座(5)、分别安装在两导轨座(5)上的驱动组件和同步组件，所述的驱动组件包括气缸(10)、直线导轨(11)以及过渡滑块(6)和托板(8)，气缸(10)和直线导轨(11)安装在导轨座(5)上，过渡滑块(6)与气缸(10)的移动件连接，托板(8)安装在直线导轨(11)的滑块上，且托板(8)通过压紧弹簧(22)和测力传感器(21)分别与过渡滑块(6)相接；所述的同步组件包括安装在工作台(1)上的六个以上导步齿轮(9)和至少一个张紧轮(3)及同步带(2)，沿两导轨座(5)周边设置的同步带(2)与各导步齿轮(9)啮合，张紧轮(3)设置在同步带(2)的一侧，且托板(8)与同步带(2)固定连接；所述的翻转机构包括主动翻转组件和从动翻转组件，主动翻转组件包括与托板(8)连接的主动支承座(12)、摆动气缸(13)、主动卡爪座(14)和具有卡口(15‑1)的主动卡爪(15)，主动支承座(12)安装在其中一个托板(8)上，摆动气缸(13)安装在主动支承座(12)上，主动卡爪座(14)通过主动轴套(24)安装在主动支承座(12)上并与摆动气缸(13)的转子连接，主动卡爪(15)可拆安装在主动卡爪座(14)的另一端；所述的从动翻转组件包括被动支承座(19)、被动卡爪座(18)以及具有卡口(17‑1)的被动卡爪(17)，被动支承座(19)安装在另一个托板(8)上，被动卡爪座(18)通过被动轴套(25)安装在被动支承座(19)上，被动卡爪(17)可拆安装在被动卡爪座(18)上，主动卡爪(15)的中心线与被动卡爪(17)中心线重合，主动支承座(12)或/和摆动气缸(13)上安装有检测摆动角度的角度传感器(26)，或主动支承座(12)或/和摆动气缸(13)上安装有检测摆动角度的接近开关，被动支承座(19)或/和被动卡爪座(18)上安装有检测水平位置的位置检测开关(27)。