[实用新型]光掩模冲洗的装卡装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光掩模冲洗的装卡装置，属于半导体制造技术领域。 

背景技术

“光掩模”是集成电路芯片制造中用于批量印刷电路的模版。通过光刻工艺，将光掩模上的电路图案大批量印刷到硅晶圆上。因此光掩模上的任何缺陷都会对芯片的成品率造成很大的影响。 

在光掩模的制造过程中，当光掩模曝光、显影之后，需要去除表面的光刻胶。因此需要光掩模进行清洗。而常规是将光掩模放在一个相对封闭的工艺处理舱内，工艺处理舱内处于洁净氛围内，将光掩模放置在工艺处理舱内定位座上，通过电机使光掩模处于旋转状态，分别对光掩模板的两面进行清洗。但这种结构清洗结构不能对掩模板边界进行有效的清洗，而且每次只能对掩模板的单面进行清洗，由于不能同时对光掩模的正反两面进行清洗，不仅用药液用量较大，而且在清洗中的装夹时间较长，去胶的生产效率不高。 

为解决清洗效率低和用化学药液的使用量大的问题，目前先进的光掩模清洗工艺是将光掩模放置在冲洗槽内，冲洗槽采用内槽体和外槽体相结合的结构，将可移动托板的托盘设置在内槽体内而形成浅槽结构，托板的托座穿过内槽体与支座连接，清洗时，只需将光掩模平放在托盘内，在托盘压接在内槽体上呈密封状况时，使光掩模横置浸没在药液中，以去除光掩模表面的光刻胶，当托板上移动时，使托板的托盘与内槽体脱离，将药液从内槽体排置外槽体内通过排液流道排出，通过设置在外槽体和托板上的喷嘴实现喷淋冲清，达到对光掩模进行清洗的效果。目前公开一些自动抓取光掩模的装置，体积较大，无法在清洗槽内进行水平抓取、放置以及翻转，而不能应用于上述的清洗工艺，如采用人工放置和抓取光掩模，不仅影响清洗效率，而且也影响清洗效果。 

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构合理，能使主动卡爪和被动卡爪同时进退，在线能检测到夹紧力，抓取、放置光掩模可靠，能满足不同尺寸光掩模的光掩模冲洗的装卡装置。 

本实用新型为达上述目的的技术方案是：一种光掩模冲洗的装卡装置，其特征在于：包括设有孔口的工作台以及安装在工作台上的开合驱动机构和自动翻转机构， 

所述的开合驱动机构包括沿工作台对角设置的两导轨座、分别安装在两导轨座上的驱动组件和同步组件，所述的驱动组件包括气缸、直线导轨以及过渡滑块和托板，气缸和直线导轨安装在导轨座上，过渡滑块与气缸的移动件连接，托板安装在直线导轨的滑块上，且托板通过压紧弹簧和测力传感器分别与过渡滑块相接；所述的同步组件包括安装在工作台上的六个以上导步齿轮和至少一个张紧轮及同步带，沿两导轨座周边设置的同步带与各导步齿轮啮合，张紧轮设置在同步带的一侧，且托板与同步带固定连接； 

所述的翻转机构包括主动翻转组件和从动翻转组件，主动翻转组件包括与托板连接的主动支承座、摆动气缸、主动卡爪座和具有卡口的主动卡爪，主动支承座安装在其中一个托板上，摆动气缸安装在主动支承座上，主动卡爪座通过主动轴套安装在主动支承座上并与摆动气缸的转子连接，主动卡爪可拆安装在主动卡爪的另一端；所述的从动翻转组件包括被动支承座、被动卡爪座以及具有卡口的被动卡爪，被动支承座安装在另一个托板上，被动卡爪座通过被动轴套安装在被动支承座上，被动卡爪可拆安装在被动卡爪座上，主动卡爪的中心线与被动卡爪中心线重合，主动支承座或/和摆动气缸上安装有检测摆动角度的角度传感器，或主动支承座或/和摆动气缸上安装有检测摆动角度的接近开关，被动支承座或/和被动卡爪座上安装有检测水平位置的位置检测开关。