[实用新型]湿制程设备有效
| 申请号： | 201120037726.4 | 申请日： | 2011-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN202021131U | 公开（公告）日： | 2011-11-02 |
| 发明（设计）人： | 王家威 | 申请（专利权）人： | 明基材料有限公司;明基材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C3/152 | 分类号： | B05C3/152;H01L21/00;G02B5/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215121 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型关于一种湿制程设备，包括槽体、第一滚轮及第二滚轮。槽体用以容置浸渍液。第一滚轮可转动地配置于槽体内，且与槽体的底部相距第一高度。第一滚轮用以让材料膜绕于其上。第二滚轮可转动地配置于槽体内，且与槽体的底部相距第二高度，第二高度相异于该第一高度。第二滚轮用以让该材料膜绕于其上。第一滚轮及第二滚轮中的至少其中之一可移动地配置于槽体内，以在水平方向上移动。 | ||
| 搜索关键词： | 湿制程 设备 | ||
【主权项】：
一种湿制程设备，其特征在于包括：槽体，用以容置浸渍液；第一滚轮，可转动地配置于该槽体内，且与该槽体的底部相距第一高度，该第一滚轮用以让材料膜绕于其上；以及第二滚轮，可转动地配置于该槽体内，且与该槽体的该底部相距第二高度，该第二高度相异于该第一高度，该第二滚轮用以让该材料膜绕于其上，其中，该第一滚轮及该第二滚轮中的至少其中之一可移动地配置于该槽体内，以在水平方向上移动。
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