[发明专利]具有热隔离孔的传感器桥

摘要

公开了一种具有被支撑在基板(20)上的传感器桥(32)的传感器。传感器桥(32)中提供了多个热隔离孔(34，36，38，40，42，44)以有助于增加传感器桥(32)与基板(20)之间的热隔离。在一个说明性实施例中，加热元件(26)、上游传感元件(22)、和/或下游传感元件(24)被提供在传感器桥(32)上。多个孔(34，36，38，40，42，44)可延伸穿过传感器桥(32)以使加热元件(26)、上游和/或下游传感元件(22，24)与基板(20)之间和/或彼此之间热隔离。在一个说明性实施例中，多个孔(34，36，38，40，42，44)可被提供在邻近传感器桥(32)的第一侧边、邻近传感器桥(32)的第二侧边、在加热元件(26)与上游传感元件(22)之间、和/或在加热元件(26)与下游传感元件(24)之间的间隔位置处。在某些情况下，多个孔(34，36，38，40，42，44)可基本上是圆的、椭圆的、矩形的和/或任何其它合适的形状。

主权项

一种用于感测流体流(12)的流量的流量传感器(10)，所述流量传感器(10)包括：基板(20)；桥，具有上游侧、下游侧、第一侧边和第二侧边，其中在流量传感器(10)使用期间，流体流(12)在从所述桥的上游侧向下游侧的方向上流动；所述桥在所述桥的上游侧和下游侧之间与基板(20)间隔，并且也在所述桥的第一侧边和第二侧边之间与基板(20)间隔，所述桥邻近所述桥的第一侧边和第二侧边由基板(20)所支撑；加热元件(26)，由所述桥支撑；第一传感元件(22)，邻近加热元件(26)由所述桥支撑；以及多个间隔的孔(34，36，38，40)，延伸穿过所述桥，所述多个间隔的孔(34，36，38，40)在与流体流(12)的流体流动(14)的方向基本平行的方向上彼此间隔。