[发明专利]PVD设备工艺控制方法和PVD设备工艺控制装置有效
| 申请号： | 201110439122.7 | 申请日： | 2011-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN103173734A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 杨洋 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PVD设备工艺控制方法和PVD设备工艺控制装置。该方法包括：步骤1，控制加热装置以第一设定功率对反应腔室进行加热；步骤2，对反应腔室的温度进行检测，得出反应腔室的当前腔室温度；步骤3，判断反应腔室的当前腔室温度是否大于第一设定温度；若是，则执行步骤4；否则，返回步骤1；步骤4，控制加热装置以第二设定功率对反应腔室进行加热，执行步骤5；步骤5，判断反应腔室的当前腔室温度是否小于第二设定温度；若是，则返回步骤1；否则，返回步骤4。本发明提供的技术方案避免了加热过程中加热装置频繁开启和关闭，从而提高了加热装置的使用寿命以及提高了加热效率和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 设备 工艺 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种PVD设备工艺控制方法，其特征在于，包括下列步骤：步骤1，控制加热装置以第一设定功率对反应腔室进行加热；步骤2，对所述反应腔室的温度进行检测，得出所述反应腔室的当前腔室温度；步骤3，判断所述反应腔室的当前腔室温度是否大于第一设定温度；若是，则执行步骤4；否则，返回步骤1；步骤4，控制所述加热装置以第二设定功率对所述反应腔室进行加热，执行步骤5；步骤5，判断所述反应腔室的当前腔室温度是否小于第二设定温度；若是，则返回步骤1；否则，返回步骤4。
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