[发明专利]光学位置测量设备

摘要

光学位置测量设备。本发明涉及一种用于检测扫描单元以及计量用具的相对位置的光学位置测量设备，所述扫描单元和计量用具沿着至少一个测量方向彼此活动地布置。扫描单元包括光源、第一圆环形扫描分度、反射元件、分束元件以及探测单元。从光源发出的射线束射到测量分度上，在此处分裂成至少两个分射线束。在扫描单元方向上传播的分射线束经由第一扫描分度射到反射元件上并且在测量分度方向上遭受反射，其中分射线束在至测量分度的路径上经过第一扫描分度。在重新施加测量分度之后，在扫描单元方向上传播的分射线束出现叠加并且经由分束元件在探测单元方向上遭受转向。在那里可检测多个与位置有关的、相移的扫描信号。

主权项

用于检测扫描单元和具有测量分度的计量用具的相对位置的光学位置测量设备，其中所述扫描单元和所述计量用具能沿着至少一个测量方向(x)相对运动，和一所述扫描单元包括光源、第一圆环形扫描分度、反射元件、分束元件以及探测单元，和‑从所述光源发出的射线束射到所述测量分度上，其中分裂成至少两个分射线束，‑在扫描单元方向上传播的分射线束经由第一扫描分度射到所述反射元件上，‑分射线束从反射元件在测量分度的方向上遭受反射并且在至测量分度的路径上经过第一扫描分度，和‑在重新施加测量分度之后，在扫描单元方向上传播的分射线束产生叠加并且经由分束元件在探测单元方向上遭受转向，其中能检测多个与位置有关的相移的扫描信号，其特征在于，第一扫描分度(24；124；224；324；424；524.1，524.2；624)这样被构造，使得‑经由其从测量分度(11；111；211；311；411；511；611)入射到所述第一扫描分度上的分射线束聚焦到反射元件(25；125；225；325；425；525.1，525.2；625a，625b)上，和‑经由其再准直分射线束，所述分射线束在反射元件(25；125；325；425；525.1，525.2；625a，625b)处反射之后在测量分度(11；111；211；311；411；511；611)方向上传播。