[发明专利]一种LED外延片及其制备方法有效
申请号: | 201110433441.7 | 申请日: | 2011-12-22 |
公开(公告)号: | CN103178169A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 陈飞 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/04 | 分类号: | H01L33/04;H01L33/32;H01L33/14;H01L33/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518118 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种LED外延片,包括衬底以及在所述衬底上顺序生长的n型氮化镓层、发光层和p型氮化铟镓/氮化镓结构层,所述p型氮化铟镓/氮化镓结构层包括顺序生长的本征氮化镓层、Mg掺杂量逐渐增加的p型氮化铟镓层、p型氮化镓层和Mg掺杂量逐渐减少的p型氮化铟镓层,所述本征氮化镓层与发光层邻接。本发明还提供所述LED外延片的制备方法。本发明提供的LED外延片及其制备方法中,利用Mg掺杂量渐变的氮化铟镓/氮化镓结构作为p型层替换传统的p型氮化镓层,提高了光电器件的外量子效率;利用铟原子的催化作用,使得Mg原子替换Ga原子形成受主;利用Mg掺杂量渐变的氮化铟镓/氮化镓结构能很好的平衡空穴的分布,提高了光电器件的寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 led 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种LED外延片,其特征在于,包括衬底以及在所述衬底上顺序生长的n型氮化镓层、发光层和p型氮化铟镓/氮化镓结构层,所述p型氮化铟镓/氮化镓结构层包括顺序生长的本征氮化镓层、Mg掺杂量逐渐增加的p型氮化铟镓层、p型氮化镓层和Mg掺杂量逐渐减少的p型氮化铟镓层,所述本征氮化镓层与发光层邻接。
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