[发明专利]一种LED外延片及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201110433441.7 申请日: 2011-12-22
公开(公告)号: CN103178169A 公开(公告)日: 2013-06-26
发明(设计)人: 陈飞 申请(专利权)人: 比亚迪股份有限公司
主分类号: H01L33/04 分类号: H01L33/04;H01L33/32;H01L33/14;H01L33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518118 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种LED外延片,包括衬底以及在所述衬底上顺序生长的n型氮化镓层、发光层和p型氮化铟镓/氮化镓结构层,所述p型氮化铟镓/氮化镓结构层包括顺序生长的本征氮化镓层、Mg掺杂量逐渐增加的p型氮化铟镓层、p型氮化镓层和Mg掺杂量逐渐减少的p型氮化铟镓层,所述本征氮化镓层与发光层邻接。本发明还提供所述LED外延片的制备方法。本发明提供的LED外延片及其制备方法中,利用Mg掺杂量渐变的氮化铟镓/氮化镓结构作为p型层替换传统的p型氮化镓层,提高了光电器件的外量子效率;利用铟原子的催化作用,使得Mg原子替换Ga原子形成受主;利用Mg掺杂量渐变的氮化铟镓/氮化镓结构能很好的平衡空穴的分布,提高了光电器件的寿命。
搜索关键词: 一种 led 外延 及其 制备 方法
【主权项】:
一种LED外延片,其特征在于,包括衬底以及在所述衬底上顺序生长的n型氮化镓层、发光层和p型氮化铟镓/氮化镓结构层,所述p型氮化铟镓/氮化镓结构层包括顺序生长的本征氮化镓层、Mg掺杂量逐渐增加的p型氮化铟镓层、p型氮化镓层和Mg掺杂量逐渐减少的p型氮化铟镓层,所述本征氮化镓层与发光层邻接。
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