[发明专利]一种磁控管及磁控溅射设备有效
| 申请号： | 201110430322.6 | 申请日： | 2011-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103177916A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 宗令蓓;耿波 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J23/087 | 分类号： | H01J23/087;H01J25/50;H01J37/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种磁控管以及磁控溅射设备，所述磁控管包括内磁极以及与其极性相反的外磁极，所述内磁极和所述外磁极在垂直于其轴线的截面上的形状为螺旋形，所述内磁极和所述外磁极相互不接触地嵌套在一起，从而在所述内磁极和所述外磁极之间形成螺旋形的第一通道和第二通道，所述内磁极的内端部和外端部之间的夹角以及所述外磁极的内端部和外端部之间的夹角均小于或等于720°，而且，所述第一通道和第二通道的内端不连通。该磁控管可以缩短等离子体路径的长度和增加路径的宽度，从而可以降低启辉和维持等离子体的溅射气压，进而可以提高薄膜的致密性和均匀性以及靶材的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控管 磁控溅射 设备 | ||
【主权项】：
一种磁控管，包括内磁极以及与其极性相反的外磁极，所述内磁极和所述外磁极在垂直于其轴线的截面上的形状为螺旋形，所述内磁极和所述外磁极相互不接触地嵌套在一起，从而在所述内磁极和所述外磁极之间形成螺旋形通道，其特征在于，所述内磁极的内端部和外端部之间的夹角以及所述外磁极的内端部和外端部之间的夹角均小于或等于720°，所述螺旋形通道包括第一通道和第二通道，而且，所述第一通道和第二通道的内端不连通。
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