[发明专利]微机电的元件以及用于制造这样的微机电的元件的方法有效
| 申请号： | 201110426205.2 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN102538773B | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | M.哈塔斯;D.C.梅塞尔;M.凯克 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01R33/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 曹若,杨国治 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电的元件，该微机电的元件包括一个基片和至少两个微机电的传感器，其中所述基片和所述至少两个微机电的传感器以彼此上下堆放的方式来布置并且其中至少两个微机电的传感器布置在所述基片的同一面上。本发明同样涉及一种用于制造微机电的元件的方法以及微机电的元件的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 元件 以及 用于 制造 这样 方法 | ||
【主权项】：
微机电的元件，包括基片（1）和至少两个微机电的传感器（2、3），其中所述基片（1）和所述至少两个微机电的传感器（2、3）以上下堆叠的方式来布置并且其中至少两个微机电的传感器（2、3）布置在所述基片（1）的同一侧上，其中至少两个微机电的传感器（2、3）在机械方面耦合地布置，其中机械的耦合在此能够通过以下方式来进行，即一个微机电的传感器的地震质量与另一个微机电的传感器的电极相连接或者所述至少两个微机电的传感器（2、3）的相应的侧面的悬架借助于弹簧元件在机械方面有弹性地彼此相连接。
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