[发明专利]一种无铅压电薄膜材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201110397145.6 | 申请日： | 2011-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN102603288A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 石敏;钟家刚;许育东;王雷 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | C04B35/468 | 分类号： | C04B35/468;C04B35/622 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种无铅压电薄膜材料，其成分和化学式为(Ba0.9CaxSr0.1-x)(Ti0.87NbyFe0.13-y)O3的铌铁钛酸钡钙锶薄膜材料，式中0＜x＜0.1，0＜y＜0.13。本材料由改进的溶胶-凝胶法制备溶胶，溶胶通过旋涂工艺成膜并经退火处理得到。本材料压电系数d33达320pC/N，此外还具有低漏电流、表面致密、没有微裂纹且晶粒尺寸大小均匀和强电滞效应等优点，本发明对铁电薄膜在微电子领域中的应用具有重大意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种无铅压电薄膜材料，其特征在于：其成分和化学式为(Ba0.9CaxSr0.1‑x)(Ti0.87NbyFe0.13‑y)O3的铌铁钛酸钡钙锶薄膜材料，式中0＜x＜0.1，0＜y＜0.13。
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