[发明专利]一种过梁式步进扫描和三节拍双工件台交换装置与方法

摘要

一种过梁式步进扫描和三节拍双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备技术领域，该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，在基台边缘分别设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元，在基台中间设置有2个过梁式直线运动单元，其底面高于工件台工作面；两个硅片台将基台表面作为气浮支撑和导向面；Y方向直线运动单元通过沿X方向直线运动单元可以实现沿X方向运动，并通过其自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X或Y方向的运动；本发明采用一体化设计，省掉双台交换系统在交换过程中的抓卡和换卡运动节拍，整个交换过程仅有三个节拍，显著缩短交换过程所需时间，明显提高生产效率。

主权项

一种过梁式步进扫描和三节拍双工件台交换方法，其特征在于：该方法的三节拍步骤是：两硅片台交换以前，运行于曝光工位的第一硅片台由第一直线运动单元卡持，运行于预处理工位的第二硅片台由第三直线运动单元卡持，从而实现曝光和预处理所需的X‑Y运动；在曝光和预处理运动结束以后，第一节拍：第一、二硅片台分别在Y方向第一、二直线运动单元的带动下，沿X方向向与其临近的基台边缘运动，使Y方向第一、三直线运动单元分别于Y方向第二、四直线运动单元对齐形成组合导轨；第二节拍：第一、二硅片台分别沿两条Y方向组合导轨运动，穿越第一、二过桥式直线运动单元，并跨越对齐部分，分别到达Y方向第二、四直线运动单元上的既定位置；第三节拍：第一、二硅片台分别在Y方向第二、四直线运动单元的带动下做X方向运动，并分别到达预处理和曝光工位；整个换台过程结束；当曝光和预处理工序结束后，第一、二硅片台将做与上述三节拍相逆的运动，从而实现连续的换台过程。